设备名称: 激光直写系统

设备型号：Microlab 4A-100

技术参数：

20. 1. 1. • 电源要求：220V,50Hz,1000W；
          • 环境要求：

• 温度：23±1℃；
• 湿度：45±5%；
• 附件没有明显的振动源；

21. 1. • 洁净压缩空气（无油）：

• 0.1-0.5MPa；
• 0.1MPa 用于隔震系统；
• 0.3MPa 用于真空吸附；

1. 1. • 洁净室等级：1000；
      • 光源： Microlab 设备使用的是波长为 405nmLED芯片，输出功率为 100mw 的光源进行直写模式刻蚀
      • DMD-SLM: 空间光调制器的显示芯片是 DMD（数码镜子大小是 0.55 英寸的 设备），每个像素大小为 10.8μm

应用范围：Microlab 的光源波长为 405nm,它可以应用材料对蓝光波长敏 感的特性，如 AZ6000 光刻胶，Microlab 可以广泛应用于微光学、MEMS OLED、芯片、安全、显示等。

仪器共享平台：衢州学院机械工程学院

联系人：方兴博士15657051987/zjqzfangyu@sjtu.edu.cn