微纳加工与器件实验室隶属于衢州学院机械工程学院,于2021年12月建成,拥有超净室和一大批先进的微纳米加工制备和检测等设备。实验室致力于机械、电子、材料与其他学科及相关领域的深度融合,重点开展功能材料、微电子器件、传感器及其集成系统的基础研究和应用开发工作。
磁控溅射/热蒸发镀膜系统
电子束蒸发
电路打印机
封装点胶固化压合一体机
扩散炉
激光直写系统
真空等离子清洗机
灵巧型匀胶机